合肥光源的衍射光栅制备技术
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摘要: 衍射光栅是合肥光源光束线中重要的分光元件。本文介绍伴随合肥光源而发展起来的衍射光学元件精密加工实验室衍射光栅制备技术及相关工作进展。
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㊱ 周小为. 大口径衍射光学元件的离子束刻蚀及相关问题的研究[D]. 中国科学技术大学, 2010.
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