摘要: ECR离子源是一种磁约束微波等离子体装置。当微波频率与电子在磁场中的回旋共振频率相等时，等离子体中的电子为馈入微波电场所加热，荷能电子受离子源磁场约束，可以多次被微波加热从而获得更高的能量，离子受电子的空间电荷力约束，从而有足够的时间能够被高能电子通过逐级剥离达到高电荷态，高电荷态离子进入引出区被引出系统引出就形成高电荷态离子束。可以看出，高性能的ECR离子源核心技术主要由三个方面构成：微波技术、磁场技术、离子源专属技术，其中磁场技术就是要设计构建一个被称为“三维最小B”或“minB”的等离子体约束磁场(图1)，该磁场的构建从一定程度上来说直接决定了离子源的性能。