摘要: 离子注入是六十年代发展起来的一门新技术。它在半导体器件制造工业中已成为一种成熟的生产工艺。七十年代起，又将它用到金属表面强化处理和超导磁泡等材料的改性试验研究中。实行离子注入的机器叫做离子注入机。它的主机，是低能离子加速器。在介绍强流离子注入机之前，先谈谈离子注入是怎么回事。