摘要: 椭圆偏振测量技术(简称椭偏技术)是利用偏振光束在界面或薄膜上反射或透射时出现偏振态的变化,研究界面或薄膜特性的一种光学方法。椭偏技术具有抗干扰性强、高灵敏度、对样品无特殊要求等优点,因而在材料科学、微电子技术、薄膜技术、物理学、化学、生物学和医学等领域有着广泛的应用。一、历史回顾追溯椭偏技术的发展,已有近百年的历史。在19世纪初,人们对光波做了大量的观察和研究,发现光波实际上存在着不同程度的偏振态。1669年,丹麦的巴塞林那斯(E.Bartholinus)发现光经过方解石晶体有双折射现象。1808年,法国的马吕斯(E.L.Malus)发现光具有偏振性。