摘要: 热波成像技术是人们根据热波形成的机理,并与现代扫描电镜实验技术相结合而进行的一种显微成像技术。该技术对物质表面和亚表面缺陷进行非破坏性无损检测具有独特的优越性。一、热波成像技术的物理过程热波成像技术按其检测信号方式的不同,可分为两类:第一类为气体传声器光声检测系统,第二类为压电光(电子)声检测系统。气体传声器光声检测系统使用得最早,也最为普遍。在这里,用于热波成像的光源是经过聚焦的激光束,当强度受到调制、且经过聚焦的一束激光通过透明窗口照射在密闭空腔内的试样上时,试样吸收光能,并把光能转变为热能,热能以热波的形式出现,从样品内部传播到样品的表面上.