摘要: 微型机械加工或称微型机电系统是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通讯电路和电源等于一体的微型器件或系统。其主要特点有:体积小(特征尺寸范围为:1μm～10mm)、重量轻、耗能低、性能稳定,惯性小、谐振频率高、响应时间短。1.微型机械的概念机械制造的精度及所加工对象的精细程度都已越过微米、亚微米级的区域,正在向纳米、亚纳米级逼近。现代超精密加工(包括微细加工)发展的前锋已经与原子物理学接壤。加工精度的进化,制造工程技术人员需要进入物理的微观世界,直接与少量的、甚至单个的分子、原子打交道。