摘要: 美国国家标准和技术研究所(NIST)专家研制成一种专门的程序保障系统,它能查明超纯材料和合金中存在的极少量杂质。该所提出的程序包分析了利用光栅扫描电子显微镜收集的资料,这种显微镜的工作原理可归结为:对被研究样品辐射一电子束,随后记录反射的电子和二次电子,并且进行X光分析.