摘要: 离子注入用于半导体材料的掺杂在六十年代已很普遍，目前已成为生产大规模集成电路的必不可少的手段，七十年代起，离子注入用于金属材料的研究工作日益广泛。近十年来的研究表明，离子注入可以使金属表面的机械、物理、化学等性能发生不寻常的变化。目前，“离子束表面改性”的新方法，已成为表面处理行业中初露头角的新技术。