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合肥光源的衍射光栅制备技术
刘正坤
,
邱克强
,
陈火耀
,
徐向东
,
刘颖
,
洪义麟
,
付绍军
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衍射光栅是合肥光源光束线中重要的分光元件。本文介绍伴随合肥光源而发展起来的衍射光学元件精密加工实验室衍射光栅制备技术及相关工作进展。
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