摘要: 一、从芯片光刻说起 本世纪八、九十年代以来,计算机的迅速发展带动了科技、工业、通讯和陆海空交通、航天、医疗卫生、能源环保、广电文化和经济、国防各行各业的发展,这一惊人发展引起的信息革命冲击着社会的各个领域。